等离子体具有以下三个特性

不稳定性：必须持续提供足够能量才可以保持等离子体状态。

电中性：各个组成部分整体呈现电中性。

高活性：高速运动的电子及活性基团可以破坏大多数材料表面的分子键，或者剥夺电子发生相关反应。

在这三种特性中，高活性是我们运用等离子体的主要原因；我们的通常做法是让等离子体去轰击材料的表面，让等离子体与材料表面发生反应，从而改变材料表面的性状，达到改善材料性能的目的。