目前绝大部分材料都可以使用等离子体去进行涂覆，在涂覆的时候，不同材料的涂覆工艺业稍有区别：
对金属进行涂覆的时候，先对金属表面进行活化处理，然后根据需要的表面功能进行涂覆，需要持久性亲水涂层，我们把HMDSO与O2按照1:4的比例去混合，然后涂覆到金属表面，就可以得到亲水的性能，反过来我们把HMDSO与O2按照4:1的比例去混合，同样涂覆到金属的表面，就可以得到疏水的性能。
虽然给塑料制品进行表面涂覆的时候并不复杂，但是为了得到较好的表面涂层，通常在涂覆的时候，我们会交叉使用活化、刻蚀工艺，通常做法：（1）5分钟O2活化；（2）5分钟HMDSO涂覆、（3）12秒钟O2刻蚀；（4）5分钟HMDSO涂覆；（5）12秒钟O2刻蚀；（6）5分钟HMDSO涂覆。最后再通入几秒钟的氧气等离子体，涂层会发生固化，同时涂层在此步骤会变为亲水性。
在前面工艺中，我们已经讲到玻璃和陶瓷类材料都比较难处理，如果要对玻璃和陶瓷类材料进行，需要进行预处理也就是活化和刻蚀，然后按照既定要求进行涂覆即可。
等离子体涂覆分为低压等离子体涂覆和常压等离子体涂覆，在常压等离子体涂覆中，需要注意的是有一些单体是不允许被使用的；主要是因为由于毒性作用较强，故此不得将任何含卤素的气体和单体与常压等离子体一同使用(F2, CL2, Br2, I)。另外在常压等离子体涂覆中，我们会选用氦气、氩气、氮气来作为载气使用。