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SN-ZK-100D大型真空等离子清洗机设备功能特点
1、供气系统采用高精度流量计，可精确调节工作气体的流量；
2、多个气体通道设计，最大化地实现不同气体及混合气体的使用需求；
3、采用高稳定性的真空泵（干泵或油泵），可以实现废气的均衡排放；
4、具备灵活的工艺参数设定能力，为各行业提供不同等离子体生成条件，使清洗效果最优化；
5、可根据不同需求选择电极板的极性与间距，获得最合适的等离子体；
6、先进的电源匹配系统来调节负载阻抗，保证最佳的等离子体密度和可重复性。

应用场景   
电子行业：电子元器件灌装前活化；邦定板清洗
医疗行业：生物材料活化；体内和体外医疗器械表面处理
光学光电：镜片清洗；提高隐形眼镜浸润性；ITO面板清洁活化
电子行业：去除孔内胶渣、碳化物等；特氟隆活化；线路板表面清洁
半导体行业：硅片、晶圆光刻胶去除；引线焊接前清洁；芯片底部填充表面预处理

大型真空等离子清洗机设备等离子清洗设备广泛地应用于半导体、电子、光学光电、生物医疗、汽车、航空航天、科研及其他通用工业领域工件表面清洗、喷涂、改性、刻蚀等。