SN-ZK-60D
60L真空表面处理等离子清洗设备
一款立式中型真空表面处理等离子清洗设备，适用于工业生产场所小中批量工件表面清洗、活化、刻蚀、改性，广泛应用于光学、半导体、电子、生物医疗、新材料研究等领域。
Parameter
规格参数
| 品牌 | ShenNa·深那 | 型号 | SN-ZK-60D |
| 腔体容量 | 60L | 腔体尺寸 | 400*400*400mm |
| 频率 | 40kHz | 功率 | 1000W |
| 13.56MHz | 300W | ||
| 电极层数 | 1-4层 | 气体通道 | 2-4通道MFC |
| 真空度 | 20Pa或更低 | 真空计 | 1*10-2～1*105 |
| 气体接口 | I.D4mm；O.D6mm | 控制系列 | 10寸PLC触摸屏（自动/手动） |
| 主机尺寸 | 800*850*1800mm | 电源 | 380V/16A |
| 附件 | 真空泵1台（可选干泵或者油泵）；波纹管1条 | ||
| 气体 | 氧气、氮气、氩气、氢气或混合气体 | ||
Particulars
产品详情
SN-ZK-60D真空表面处理等离子清洗设备功能特点：
1、PLC和触摸屏组成，各项参数清晰明了，操作简单、安全可靠；
2、控制方式分为自动和手动两种模式，可根据实际需要自由选择；
3、等离子发生器采用电源匹配系统调节负载阻抗，保证最佳的等离子密度和可重复性；
4、供气系统采用高精度流量计调节工作气体的流量，高稳定性真空泵实现废气均衡排放；
5、设有2-4工艺气体通道，最大化实现不同工艺气体及混合气体的需求；
6、电极系统可根据不同需求选择电极板的极性与间距，以获得最合适的等离子体。
