Parameter
规格参数
| 品牌 | 洁盟Skymen | 型号 | JMD-ZKG-05D |
| 频率 | 40KHz | 功率 | 200W |
| 13.56MHz | 100W | ||
| 整机尺寸 | 415*600*450mm | 舱体尺寸 | Φ150*260mm |
| 托盘尺寸 | 145*255mm | 层数 | 1层 |
| 气体通道 | 2路气体 | 工作模式 | 手动/自动 |
| 操作方式 | PLC+触摸屏 | 电源电压 | 220V |
| 重量 | 45Kg | 触摸屏 | 7寸 |
| 流量计 | 2个浮子流量计 | 真空泵 | 油泵/干泵（进口或国产） |
| 工艺气体 | 氧气、氮气、氩气、氢气或混合气体 | ||
| 附件 | 真空泵排气口过滤器*1、触控笔*1、不锈钢波纹管*1 | ||
Particulars
产品详情
JMD-ZKG-05D等离子清洗机功能特点：
PLC+人机界面控制，操作简单
支持权限分级+独立密码锁
可切换手动模式或自动模式
具有多种互锁功能，保证设备使用安全
高真空度舱体设计及制造工艺，拥有优良的密封性
超温、过载、短路等异常提示和报警功能
独特的放电技术，等离子形成均匀稳定，保处理效果更出众
超低温处理，不损伤基材，兼容各种材料
适用于高校实验室、科研单位等场景样品研究及教学，或者工业领域小批量生产使用。
应用范围：
半导体表面涂胶前处理；晶圆去光刻胶；去除有机污染物；封装前表面活化
PCB/FPC孔壁除胶、去除干膜残余物、表面活化
DC混合电路去除银芯片硫化物、厚膜基板导带上有机污染物、外壳表面氧化层以及提高盖板浸润性、陶瓷材料表面活性、铝丝与焊盘扩散性
光学镜头、显示屏、彩管玻璃等清洗
硅胶、塑料、橡胶及聚合物的表面活化、粗化
高校、科研机构进行新材料开发、表面分析、考古、新型基材实验
