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影响等离子清洗效果的因素有哪些?

2022.08.09

由于各行业清洗需求不一,很多人选择等离子清洗机之后,在清洗工作中会因为种种原因,会导致清洗效果不理想,下面就随着小编简单了解一下,影响等离子清洗效果的因素有哪些?

电极

由于电极是暴露在等离子体中,一些劣质材料制成的电极容易发生溅射现象,进而影响等离子清洗的稳定性。较小电极的间距能够将等离子体限制在狭小的区域从而获得较高密度的等离子体,实现快速的清洗,反之,间距增加,清洗速度也随之下降。电极通常作为托盘使用,较大尺寸的电极能够一次性清洗更多物件,提高清洗效率。因此,电极的材料、布局和尺寸等因素对等离子清洗效果有着显著的影响。

压强
压强是真空等离子清洗的重要参数之一,压强提高等离子体的密度也会增加,能显著提高等离子清洗的速度。此外,工作压强的改变会引起等离子体清洗反应机理的变化。

功率及频率
等离子清洗机的电源功率对各项参数都有影响,比如电极温度、自偏压、清洗效率等。输出功率增加,清洗速度加强;频率的增加等离子体的密度也会逐渐增加,因此,清洗效率能够得到提升。

气体
气体的选择是等离子清洗的关键步骤,尽管大多数气体或混合气体都能对污染物起到去除作用,但清洗的效果和速度却会相差几倍甚至十几倍,由此可见合理的选择气体能够大幅提高清洗速度。

影响等离子清洗效果的因素有哪些?以上几点会直接影响等离子清洗机的清洗效果。在采购等离子清洗机之前或者使用前,一定要根据所清洗的材料和污渍,做相应的工艺验证,以便于获得最佳的清洗效果。

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