保养
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等离子清洗机观察窗的保养
恒发彩票观察窗是工作人员在工作时对腔体内放电情况进行观察所用，在使用一段时间后会造成观察窗玻璃的表面微蚀，使其变得模糊不清。处理方法：用无尘布（纸）沾酒精或丙酮对玻璃进行清洁或直接更换真空玻璃。
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如何保养真空等离子清洗机真空泵？
定期检查真空泵油每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近最低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪音异常，则及时更换真空油。
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等离子清洗机真空腔体有污染物怎么办？
等离子腔体清洁时产生的污物大部分都接近电子级别，会随着真空泵排除。但也会有一些大颗粒污染物产生。这些大颗粒污物会附着在腔壁、电极和托板架上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔低掉落更严重。对腔壁要用不可掉落的毛刷清洁，使颗粒粉尘异物在腔壁脱落，用吸尘机将污物吸出。用脱脂布沾酒精擦拭，其次腔体内导入N2和O2，用等离子体清除腔体内残余物，工作大约10min