真空等离子清洗机主要由真空腔体、供气系统 、电极、等离子发生器等构成。

1、电极
电极板主要由不锈钢材料制成，由两侧的绝缘块固定在真空腔体中，通过电极接头与电源正极或负极连接，整个电极系统可根据实际清洗需求，选择电极板的极性与间距，以获得最合适的等离子体。

2、等离子体发生器
采用电源匹配系统调节负载阻抗，射频电源功率可进行调节，满足不同需求的应用，射频发生器的频率可将气体激发成为等离子态。

3、真空腔体及供气系统
实现等离子清洗需要稳定的腔体压力，为保证工作压强的稳定，一般会采用高精度流量计，可以调节工作气体的流量。真空等离子清洗机工作时会产生废气需要排出，因此需要采用高稳定性的真空泵来实现均衡的排放。另外，供气系统会设计多组工艺气体通道，可以最大化实现对不同工艺气体及其混合气体的使用需求。