小型真空等离子清洗机具有紧凑、便携的特点，适用于一些小型实验室和研究机构的应用。虽然其处理能力相对较小，但仍然具有广泛的应用范围，包括以下几个方面：

1、表面清洗和去污：小型真空等离子清洗机可用于清洗各种材料的表面，去除污垢、油脂、有机物、氧化层等。它在实验室中可以用于清洗实验装置、器皿、玻璃器具等，保证实验的净化程度。

2、表面活化和改性：通过调整等离子体的成分和工艺参数，小型真空等离子清洗机可以实现对材料表面的活化和改性。它可用于增加材料表面的粘接性、润湿性，改善涂覆、粘接和印刷等工艺的效果。

3、薄膜沉积前处理：在薄膜沉积过程中，表面的清洁和活化非常重要。小型真空等离子清洗机可以用于净化基底表面，去除杂质和氧化物，并激活表面，提供良好的沉积条件，从而获得高质量的薄膜沉积。

4、微纳加工和纳米制备：小型真空等离子清洗机可用于微纳加工和纳米制备过程中的表面处理和清洗。它对于制备微纳米结构、纳米颗粒、纳米管等具有重要作用，可以提供干净的表面和良好的粘附性。

5、生物医学研究：小型真空等离子清洗机在生物医学研究中也有应用。它可用于清洗和处理生物医学材料、医疗器械等，去除有机污染物和微生物，提高材料的生物相容性和抗菌性能。

虽然小型真空等离子清洗机的处理能力有限，但它的便携性和灵活性使得它在小型实验室和研究机构中成为一种常见的表面处理设备。