1、等离子清洗机用氧气清洗碳氢化合物
与碳聚合物发生化学反应得到：水（水蒸气）、二氧化碳这类产物，然后通过真空被抽离出去或者自然挥发。



2、等离子清洗机用氢气清洗氧化物
与氧化物发生化学反应得到：水（水蒸气）、其他产物，然后通过真空被抽离出去或者自然挥发。
在上述等离子清洗碳氢化合物和氧化物过程中，本质上是化学反应；目前绝大部分材料的表面均存在碳氢化合物和氧化物，如果不把这些碳氢化合物和氧化物去除干净，在后续加工工序中，无法与其他材料进行粘附贴合；所以在进行喷漆、印刷或者粘合之前，都会对材料表面进行等离子体处理，因此等离子体处理也成为了一种标准的表处理方式。



3、等离子清洗机用稀有气体清洗污染物
稀有气体：又称惰性气体，在常温常压下，以原子形式而存的气体，由于本身非常稳定，很难与外界发生化学反应，也称惰性气体；常见的惰性气体有：氦气（He）、氖气（Ne）、氩气（Ar）、氙气（Xe）等；其中氩气是大气中含量最多的惰性气体，也是最早被发现的惰性气体，同时也是运用最广泛的惰性气体。
我们采用惰性气体等离子体来清洗污染物，是因为它仅由离子、电子和惰性气体原子组成，惰性气体总是原子形态的，所以不会存在自由基，而惰性气体不会发生化学反应，所以不会存在任何反应产物。一般我们会采用氩气等离子体来清洗材料表面的污染物，这种处理方式称为微喷砂清洗。
基于此，我们让氩气等离子体去撞击材料的表面，撞击时所产生的动能去除原子和分子，从而使污染物不断分解。这种处理方式几乎对所有表面均有效，也就是说，适合处理任何类型的污染物；通过微喷砂清洗也可以去除几乎所有具有抗化学腐蚀性的污染物 。
另外值得注意的是，在进行微喷砂处理时，不光是能够处理掉污染物，也会对材料本身产生一定影响，让材料本省分离出粒子碎片，使材料表面粗糙化；就如同进行喷砂处理或者研磨处理的时候，其会导致表面积增大，可能会造成侧凹，这会提高随后所涂覆的涂层的粘附性。
以上三种清洗污染物的方式是等离子清洗污染物时的主要方式，一般我们在清洗污渍的时候，我们先用氧气等离子体来清洗材料表面的有机物，然后用氢气等离子体来进行氧化还原反应或者用氩气等离子体去轰击材料表面，这样最终可以将材料表面清洗干净。