我们将带有镂空图案的保护膜（也称掩膜）贴到材料的表面上，那么没有镂空的地方就会把材料表面进行遮挡，有镂空的地方就会把材料表面显现出来，这个时候让等离子体去冲击材料表面被显现的部分，这样等离子体就能把材料表面上需要刻蚀的部分从固态转变为气态，然后通过真空泵将气态产物抽吸出来。

需要注意的是等离子蚀刻只能在低压等离子体中进行，因为达到规定的蚀刻效果需要较长的处理时间，几乎所有的蚀刻气体都只能在低压等离子体中使用。

以上是等离子清洗机表面刻蚀的基本原理