1、待处理物件
2、托架：用于放置需要处理的物件
3、负压腔（真空腔）：主要有不锈钢和石英两种腔体
4、气动控制阀：可分为手动或自动，用于接通或切断真空管路中的气流，以实现真空腔体抽真空的启动和关闭。
5、气瓶：各类气体，如氮气、氢气、氩气、氧气等。
6、气体流量控制器（MFC）：保证输入气体的稳定和计量。
7、电极板：通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量且无序的等离子体