在对金属进行刻蚀的时候，要想刻蚀可以正常进行，只能采用具有高腐蚀性的工艺气体，但这样也会带来一个问题，金属材料本身也会被腐蚀；所以我们需要对工艺参数进行严格把控，同时为了增强蚀刻效果，需要对部件进行预热处理或者在等离子设备中安装腔室加热装置的情况下连续进行加热。

由于塑料表面难以涂漆和进行粘合，我们通过刻蚀来增加表面积，以获得更好的粘合附着性，在对塑料刻蚀采用的工艺气体一般为氧气和各种含氟/氯气体化合物，还包括氢气。

刻蚀一般是在真空中进行的，但是在真空中对玻璃进行等离子蚀刻是非常费时而且成本较高。通过电离气体粒子只能缓慢地对玻璃进行分解。 玻璃主要是由SiO2组成的，所以玻璃本身就分厂稳定；因此可以采用氟代烃（在添加氧气的情况下）对其进行蚀刻。对玻璃的刻蚀一般采用此种方式。

陶瓷的主要成分是三氧化二铝（ Al2O3 ），其中铝和氧在自然界中，也算是相当活泼的元素；但是它们的结合体却是相当牢固，所以一般我们会采用腐蚀性和非腐蚀性气体进行刻蚀。我们需要注意的是所有的含氯和含氟气体均属于腐蚀性气体，氩气属于非腐蚀性气体。在使用腐蚀性气体对陶瓷进行刻蚀的时候，含氟气体的去除率比其他非腐蚀性气体更高，而含氯气体的蚀刻效果则比非腐蚀性气体更好，通常我们采用含氟气体进行刻蚀
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